База данных переводных книг

Не является библиотекой. Полнотекстовый доступ к изданиям не предоставляется.

Айнспрук, Н., Браун, Д. (Ред.). Плазменная технология в производстве СБИС. Пер. с англ. с сокращ. Ю.М. Золотарева, В.В. Юдина; под ред. Е.С. Машковой. – М.: Мир, 1987. – 469 с. Einspruch N. G., Brown D. M., eds. Plasma processing for VLSI: Vol. 8. London, N.Y.: Academic Press Publ. 1984. 544 p. (Russ. ed.: Einspruch, N., Brown, D., eds. Plazmennaya tekhnologiya v proizvodstve SBIS. Moscow: Mir Publ., 1987. 469 p.).
Авторы: Айнспрук, Н., Браун, Д. / Einspruch N. G., Brown D. M., eds.
Год издания: 1987
Издательство: Мир
Место издания: М.
Перевод с англ.