Не является библиотекой. Полнотекстовый доступ к изданиям не предоставляется.
Броудай, И., Мерей, Д. Физические основы микротехнологии. Пер. с англ. В.А. Володина и др.; под ред. А.В. Шальнова. – М.: Мир, 1985. – 494 с. Brodie I., Muray J. J. The physics of microfabrication. N.Y.: Springer-Verlag, 1982. 504 p. (Russ. ed.: Brodie, I., Muray, J. Fizicheskiye osnovy mikrotekhnologii. Moscow: Mir Publ., 1985. 494 p.).